為滿足φ300mm園片，<0.15mm線寬的加工要求，近年來對AMC控制，重點在以下三方面開展工作：
    
    （1）精確的測量技術(shù)及標準測試方法的建立。因為這是掌握AMC控制的基礎(chǔ)，必須先行；
    
    （2）按今后IC的生產(chǎn)要求，生產(chǎn)線的設(shè)備采用微環(huán)境隔離，各設(shè)備間園片的傳送采用前開式標準片盒（FOUPs）系統(tǒng)，對園片進行隔離。因此，早已對設(shè)備、FOUPs系統(tǒng)及微環(huán)境所用的材料要求不釋放及吸附有關(guān)懸浮分子污染物的問題以及對此污染物的去除措施進行研發(fā)，并不斷改進中；
    
    （3）控制AMC的過濾器。
    
    近年來尤其是近2～3年來，對控制AMC過濾器的開發(fā)及推出有少進展；
    
    A.不釋放AMC物質(zhì)的HEPA/ULPA;
    
    a.低硼超細玻璃纖維過濾器，現(xiàn)已在亞洲及歐洲的IC廠使用較多；
    
    b.多孔聚四氟乙?。╡PTFE）過濾器，為薄膜結(jié)構(gòu)，價格比a要高出十倍左右。目前使用尚不多，正在開發(fā)下一代的。
    
    B.化學(xué)過濾器
    
    目前已推出的化學(xué)過濾器主要是：
    
    a.活性炭過濾器，大多數(shù)是晶粒狀的，有盤片式、蜂窩式等；亦已有活性炭纖維過濾器，具有吸附速度快的特點，價格尚較高；還已有晶粒與纖維粘合的過濾器。
    
    b無紡合成織物上浸漬各種功能晶粒（如活性炭、活性鋁，但主要是活性炭）以吸附AMC物質(zhì)。
    
    至今，據(jù)報道，φ300mm園片加工除二條試驗生產(chǎn)線外，已有四條生產(chǎn)線（德國一條、美國一條、我國臺灣二條）開始運轉(zhuǎn)，對AMC的控制情況，當然不詳，但潔凈室環(huán)境為ISO5～6級，對潔凈室設(shè)計較簡單些。可以看到，今后IC生產(chǎn)，其生產(chǎn)環(huán)境的污染控制重點必然轉(zhuǎn)到工藝設(shè)備及園片傳、存放系統(tǒng)的研發(fā)及制造上。